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[多选题]

CVD反应体系必须具备的条件有（)。

A.在沉积温度下，反应物具有足够高的蒸气压，并能以适当的速度被引入反应室

B.反应产物除了形成固态薄膜物质外，都必须是挥发性的

C.沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压，以保证在反应中能保持在受热的基体上，不会挥发

D.作为涂层的分解或还原产物在作业温度下必须是易挥发的固相物质

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发布时间：2022-10-19

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