题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
瞬间停电后终聚真空系统现场首先需要做的是()。
A.关闭EG喷淋阀
B.关闭EG换热器水阀
C.关闭EG排液阀
D.关闭EG补加阀
答案
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A.关闭EG喷淋阀
B.关闭EG换热器水阀
C.关闭EG排液阀
D.关闭EG补加阀
第9题
A.检查现场仪表运行情况
B.迅速赶到现场,根据SOE记录和联锁动作第一时间的声光报警信号,快速判断联锁动作原因,并及时采取相应处理措施
C.迅速赶到现场,检查ESD系统卡件状态
D.检查工艺参数状态